Reinraum
Labor für Nanofabrikation
Das Nanofabrikationslabor des Swiss Nanoscience Institute (SNI Nanofab) bietet die Ausrüstung, das Umfeld und die Erfahrung, die für die Herstellung und das Prototyping von hochmodernen Mikro- und Nanobauteilen benötigt werden, die in der Grundlagen- und angewandten Physik der kondensierten Materie eingesetzt werden. Die hochmodernen Lithographie-, Abscheide-, Ätz- und Nachbearbeitungssysteme sowie der Reinraum (CR) ermöglichen es den Nutzern des Nanofab, routinemäßig Metall-, Halbleiter- und Polymermaterialien im Mikro- (<100 um) und Nanobereich (<100 nm) zu strukturieren und zu manipulieren, was zu den herausragenden Nanomaterialien und -geräten führt, die im Mittelpunkt der Experimentalphysikprojekte der Universität Basel und des SNI stehen.
Das Nanofab verfügt derzeit über:
- 500m2 Laborfläche (30m2 der CR-Klasse ISO7)
- 70+ Benutzer
- 40+ Herstellungs- und Charakterisierungswerkzeuge
- Einen CR-Techniker und einen CR-Manager